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简介
TH510系列半导体C-V特性分析仪是常州同惠电子根据当前半导体功率器件发展趋势，针对半导体材料及功率器件设计的分析仪器。
仪器采用了一体化集成设计，二极管、三极管、MOS管及IGBT等半导体功率器件寄生电容、CV特性可一键测试，无需频繁切换接线及设置参数，单管功率器件及模组功率器件均可一键快速测试，适用于生产线快速测试、自动化集成。
CV曲线扫描分析能力亦能满足实验室对半导体材料及功率器件的研发及分析（此功能为选件）。
仪器设计频率为1kHz-2MHz，Vgs电压可达±40V，VDS电压可达±200V/±1500V/±3000V，足以满足大多数功率器件测试。
简要参数
TH511
TH512
TH513
通道
2（可扩展至6）
2（可扩展至6）
1
测试频率
1kHz-2MHz
测试参数
Ciss、Coss、Crss、Rg
VGS范围
0 - ±40V
VDS范围
0 - ±200V
0 - ±1500V
0 - ±3000V
应用
■半导体元件/功率元件
二极管、三极管、MOSFET、IGBT、晶闸管、集成电路、光
电子芯片等寄生电容测试、C-V特性分析
■ 半导体材料
晶圆切割、C-V特性分析
■ 液晶材料
弹性常数分析
■电容元件
电容器C-V特性测试及分析，电容式传感器测试分析
技术参数
产品型号
TH511
TH512
TH513
通道数
2（可选配4/6通道）
1
显示
显示器
10.1英寸(对角线)电容触摸屏
比例
16:9
分辨率
1280×RGB×800
测量参数
CISS、COSS、CRSS、Rg，四参数任意选择
测试频率
范围
1kHz-2MHz
精度
0.01%
分辨率
10mHz
1.00000kHz-9.99999kHz
100mHz
10.0000kHz-99.9999kHz
1Hz
100.000kHz-999.999kHz
10Hz
1.00000MHz-2.00000MHz
测试电平
电压范围
5mVrms-1Vrms
准确度
±（10%×设定值+2mV）
分辨率
1mVrms
0.5Vrms-1Vrms
10mVrms
1Vrms-2Vrms
VGS电压
范围
0 - ±40V
准确度
1%×设定电压+8mV
分辨率
1mV
0V - ±10V
10mV
±10V - ±40V
VDS电压
范围
0 - ±200V
0 - ±1500V
0 - ±3000V
准确度
1%×设定电压+100mV
输出阻抗
100Ω，±2%@1kHz
数学运算
与标称值的绝对偏差Δ，与标称值的百分比偏差Δ%
校准功能
开路OPEN、短路SHORT、负载LOAD、夹具校准
测量平均
1-32次
AD转换时间（ms/次）
快速+：2.5ms(＞5kHz)
快速：11ms,
中速：90ms
慢速：220ms
最高准确度
0.5%（具体参考说明书）
CISS、COSS、CRSS
0.00001pF - 9.99999F
Rg
0.001mΩ - 99.9999MΩ
Δ%
±（0.000% - 999.9%）
多功能参数列表扫描
点数
50点，每个点可设置平均数，每个点可单独分选
参数
测试频率、Vg、Vd、通道
触发模式
顺序SEQ：当一次触发后，在所有扫描点测量，/EOM/INDEX只输出一次
步进STEP：每次触发执行一个扫描点测量，每点均输出/EOM/INDEX，但列表扫描比较器结果只在最后的/EOM才输出
图形扫描
扫描点数
任意点可选，最多1001点
结果显示
同一参数、不同Vg的多条曲线；同一Vg、不同参数多条曲线
显示范围
实时自动、锁定
坐标标尺
对数、线性
扫描参数
Vg、Vd、Freq
触发方式
手动触发一次，从起点到终点一次扫描完成，下个触发信号启动新一次扫描
结果保存
图形、文件
比较器
Bin分档
10Bin、PASS、FAIL
Bin偏差设置
偏差值、百分偏差值、关
Bin模式
容差
Bin计数
0-99999
档判别
每档最多可设置四个参数极限范围，四个测试参数结果设档范围内显示对应档号，超出设定最大档号范围则显示FAIL，未设置上下限的测试参数自动忽略档判别
PASS/FAIL指示
满足Bin1-10,前面板PASS灯亮，否则FAIL灯亮
存储调用
内部
约100M非易失存储器测试设定文件
外置USB
测试设定文件、截屏图形、记录文件
键盘锁定
可锁定前面板按键，其他功能待扩充
接口
USB HOST
2个USB HOST接口，可同时接鼠标、键盘，U盘同时只能使用一个
USB DEVICE
通用串行总线插座，小型B类（4个接触位置）；与USB TMC-USB488和USB2.0相符合，阴接头用于连接外部控制器。
LAN
10/100M以太网，8引脚，两种速度选择
HANDLER
用于Bin分档信号输出
RS232C
标准9针，交叉
RS485
标准差分线
GPIB
24针D-Sub端口（D-24 类），阴接头与IEEE488.1、2和SCPI兼容
开机预热时间
60分钟
输入电压
100-120VAC/198-242VAC可选择，47-63Hz
功耗
不小于130VA
尺寸（WxHxD）mm
430x177x405
重量
16kg
附件
| 标配 | |||||
| 配件名称 | 型号 | ||||
| PIV测试夹具 | TH26063B | ||||
| PIV测试夹具 | TH26063C | ||||
| TH510夹具控制连接电缆 | TH26063D | ||||
| TH510测试延长线 | TH26063G | ||||
| USB转RC232通讯线缆 | TH26071C | ||||
