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性能特点
扫描多通道测量方阻、电阻率、电导率
最高方阻精度：4 %；方阻最小分辨：10uΩ
温度补偿功能（TC）；温度基本精度: 0.1 ℃
零底数设计，微弱电阻测试无需清零
被测件厚度可预设,电阻率测试无需查表
双电测模式,修正探针游移与样品边际效应
电阻/方阻、电阻率、电导率、温湿度同步测试
HANDLER / USB/RS232/ RS485接口远程控制
U盘记录测试数据，并可远程升级仪器软件
符合GB/T 1551-2021
适用于测量导电薄膜、金属/纳米涂层、 及各种新型材料等
产品概要
CXT2665-X系列多路四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途宽量程综合测量设备，可测量3/6/9/12通道的电阻/方阻/电阻率/电导率.该仪器是按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，可用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻及其它各种材料)的专用仪器。仪器运用双电测原理，进行多次测量，自动消减样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响，它与单电测相比，大大提高测量精度和一致性。
仪器选配 U盘数据记录接口，可方便的进行测试数据的记录；标配USB接口和RS232/485接口可与电脑相连接；电脑配套操作软件可以方便直观的直接对仪器进行全功能操作、并记录数据,方便对材料进行电气分析。仪器测量精度高、稳定性好、智能化程度高、操作简单、测试结果显示直观，广泛运用于半导体材料厂、科研单位、高等院校等对各种半导体、类半导体材料、导体材料及各种新材料的导电性能的测试。
适用范围：
适用于片状或块状半导体材料的径向和轴向电阻率及扩散层的薄层、太阳能等材料的测试。配置不同的测试探头，可以测量柔性材料导电薄膜、金属涂层或陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层材料的电阻率/方阻.也可使用电阻测试夹具直接测量电阻器电阻。
产品描述：
扫描多通道测量方阻、电阻率、电导率；电阻测试范围10uΩ-1MΩ;方阻测试范围10uΩ/□-1MΩ/□; 电阻率测试范围取决于电阻测试范围及被测件尺寸。
